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在高温电流的作用下，电解质水产生电离子，分离化学液态电浆，利用电解质水溶和高温、高压的配合产生等离子，等离子与工件的表面摩擦而产生抛光的效果。等离子抛光的过程中涉及到化学变化，其材料去除机理主要表现在材料的化学去除过程，其原理为反应等离子在放电过程中产生许多离子和化学活物质，这些中性物质称其为自由基，与原来的气体分子相比，这些自由基是活跃的刻溶剂。等离子体的材料去除机理不仅仅包括化学反应的去除原理，还包含物理方法的去除原理，但主要的还是气相化学反应去除原理。

等离子抛光大部分材质的浓度大概在4%左右，如不锈钢、铜、锌合金，但有些材质浓度额不一样，如锌合金、铝合金、金银等。一般情况4%相差不大都0k。抛光液浓度也会影响抛光电流、整体是浓度越高、电流会降低一些，但不能盲目增加抛光液浓度。一是生产抛光盐的成本会增加，二是当浓度达到一个范围后就会影响抛光、所以不能盲目增加抛光液浓度、不然会适得其反。